- лазерный импульсный отжиг
- Automation: laser pulse annealing
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.
лазерный импульсный отжиг
Смотреть что такое "лазерный импульсный отжиг" в других словарях:
ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ — в узком, первонач. смысле восстановление под действием лазерного излучения кристаллич. структуры приповерхностных слоев полупроводников, нарушенной ионной имплантацией; открыт в 1975 в СССР [1]. Под Л. о. в широком смысле понимают структурные… … Физическая энциклопедия
